Tez Arşivi

Hakkımızda

Tez aramanızı kolaylaştıracak arama motoru. Yazar, danışman, başlık ve özete göre tezleri arayabilirsiniz.


Orta Doğu Teknik Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü

Capacitive CMOS readouts for high performance MEMS accelerometers

MEMS ivmeölçerler için yüksek performans kapasitif okuma devreleri

Teze Git (tez.yok.gov.tr)

Bu tezin tam metni bu sitede bulunmamaktadır. Teze erişmek için tıklayın. Eğer tez bulunamazsa, YÖK Tez Merkezi tarama bölümünde 286109 tez numarasıyla arayabilirsiniz.

Özet:

MEMS accelerometers are quickly approaching navigation grade performance and navigationmarket for MEMS accelerometer systems are expected to grow in the recent years Comparedto conventional accelerometers, these micromachined sensors are smaller and more durablebut are generally worse in terms of noise and dynamic range performance Since MEMS accelerometersare already dominant in the tactical and consumer electronics market, as they arein all modern smart phones today, there is significant demand for MEMS accelerometers thatcan reach navigation grade performance without significantly altering the developed processtechnologies This research aims to improve the performance of previously fabricated and well-knownMEMS capacitive closed loop ?? accelerometer systems to navigation grade performancelevels This goal will be achieved by reducing accelerometer noise level through significantchanges in the system architecture and implementation of a new electronic interface readoutASIC A flexible fourth order ?? modulator was chosen as the implementation of theelectro-mechanical closed loop system, and the burden of noise shaping in the modulator wasshifted from the mechanical sensor to the programmable electronic readout A novel operaivtional transconductance amplifier (OTA) was also designed for circuit implementation of theelectronic interface readout Design and fabrication of the readout was done in a standard 0 35 µm CMOS technology ...

Özetin tamamını okumak için tez.yok.gov.tr adresine gidin.

Summary:

MEMS ivmeolcer sistemleri, son yıllarda olan gelisimleri ile seyrusefer uygulamaları icingerekli performans kriterlerine yaklasmaktadır, ve de bu nedenle seyrusefer sistemler piyasasınınMEMS ivmeolcerlere olan ilgisinin gelecek yıllarda artması beklenmektedir Klasikivmeolcer sistemlerine kıyasla, MEMS ile mikroislenmis duyargalar cok daha kucuk ve dedayanıklı ancak performans olarak daha kotu olmaktadırlar Ancak MEMS ivmeolcerlerintaktik uygulamalarda ve de elektronik aletler piyasasında kullanımının yaygınlasmasına baglıolarak, MEMS ivmeolcerlerin uretim sureclerinin ciddi sekilde degismeden seyrusefer uygulamalarındada kullanılabilmesine dair ciddi bir ilgi vardır Bu arastırmanın amacı, daha onceden uretilmis kapasitif kapalı dongu MEMS ivmeolcerlerinperformans seviyesine seyrusefer uygulamalarına hazır hale getirmektir Bu amaca ulasmakicin sistem seviyesindeki mimari degisiklikler ve de yeni bir elektronik devre tasarımı ile,ivmeolcer gurultusunun dusurulmesi planlanmaktadır Degisik ivmeolcerlere uygulanabilirbir dorduncu derece ?? modulator mimarisi secilmistir, ve de bu sayede gurultu sekillendirmefonsksiyonu mekanik yapıdan programlanabilir elektronik devreye aktartılmıs¸tır Ayrıca, tasarlananokuma devresinin performansını iyiles¸tirmek amacıyla yeni bir operasyonel transkonviduktans yukseltgeci (OTA) devre mimarisi gelistirilmistir Elektronik devrenin tasarım ve de uretimi 0 35 µm CMOS teknolojisinde gelistirilmistir ...

For full summary, please go to tez.yok.gov.tr.